以德國米銥capaNCDT為例，可以測量導體材料和非導體材料測量非導體材料時，采用變介電常數原理絕對誤差可以達到01微米，分辨率達到00375納米但是要求不能有油污和水等影響因素恒定的油污和水也是可以補償的，不恒定的就會有問題，否則會影響電容的介電常數電容位移傳感器測量原理；變面積式電容傳感器的靈敏度 = 電容變化量 ÷ 極板位移變化量附推導無法附圖，抱歉1當前電容C = 介電常數ε × 極板長a×極板寬b－極板位移變化量÷兩極板間距d其中，極板位移變化量是指在b方向上的變化2電容變化量 = 最大總電容量C0－當前電容C根據1和2，可以推導出靈敏度；差動式電容傳感器是一種常用于測量位移壓力等物理量的傳感器它通過測量兩個電容器之間的電容差異來實現物理量的測量具體而言，差動式電容傳感器由兩個相同的電容器組成，一個固定在測量系統上，另一個則與待測物理量相連，隨著物理量的變化而發生變化兩個電容器的電容分別為 C1 和 C2，它們并聯；電容傳感器的應用電容傳感器廣泛應用于位移測量壓力測量液位測量加速度測量等領域例如，電容式；即可變間隙式和可變公共面積式可變間隙式可以測量直線振動的位移可變面積式可以測量扭轉振動的角位移 按性質 電容式傳感器基本上可以分成三類電場傳感器基于弛張振蕩器的傳感器以及電荷轉移QT器件電容式傳感器應用？電容傳感器具有結構簡單靈敏度高分辨力高，能感受001μm甚至更小的位移無反作用力動態響。

電容值的影響因素電容器的電容值與其兩極板間的面積介電常數和極板間的距離有關面積變化導致電容值變化變面積式電容傳感器通過改變電容器兩極板間的面積來實現電容值的變化當被測物理量發生變化時，傳感器的敏感元件會發生形變，導致電容器的面積發生變化，進而引起電容值的改變應用實例位移；位移 左 被測物體運動時，電介質在極板間長度不同會影響電容器的電容，電容式位移傳感是把位移這個力學量轉化為電容這個電學量的，在某次測量中，電容增大了，根據 ，可知介電常數變大了，即被測物體向左運動了故答案為位移，左。

對位移測量精度的影響線性度誤差電容式位移傳感器的輸出特性通常希望具有良好的線性度，即電容值的變化與。

dsε 三個參數中任一個的變化都將引起電容量變化，并可用于測量因此電容式傳感器可分為極距變化型面積變化型介質變化型三類極距變化型一般用來測量微小的線位移或由于力壓力振動等引起的極距變化見電容式壓力傳感器面積變化型一般用于測量角位移或較大的線位移電容位移傳感器是一種。